Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИСПОЛЬЗОВАНИЕ КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ДЛЯ РАСЧЕТА CV-ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНОГО МЭМС-МИКРОФОНА, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Григорьев Д. М.1
  • Годовицын И. В.2
  • Амеличев В.В.3
  • Генералов С.С.4
  • Поломошнов С. А.5
стр. 431-439
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр", 2 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр", 3 Научно-производственный комплекс, Технологический центр, 4 Общество с ограниченной ответственностью “Научно-производственное предприятие "Технология” 124498, Россия, г. Москва, Зеленоград, МИЭТ, комн. 7201, 5 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр"
  • В выпуске: №6, 2017, Том 46
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
CV-характеристика МЭМС-микрофона имеет важное значение, так как определяет его рабочее напряжение и?чувствительность. Из-за сложной геометрии неподвижного перфорированного электрода и?тонкой подвижной мембраны возникает необходимость использования для расчета CV-характеристики конечно-элементного моделирования. В?работе рассмотрены различные методы решения данной задачи, а?также предложена реализация итерационного метода расчета с?помощью программного комплекса ANSYS. Проведен анализ и?сравнение результатов, полученных с?помощью итерационного метода и?двух встроенных методов расчета электростатического взаимодействия в?ANSYS.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.