Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОГО РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗА В РЕЖИМЕ НИЗКОГО ВАКУУМА, "Журнал аналитической химии"»

Авторы:
  • Пухов Д.Э.1
  • Курбатов С. В.2
стр. 205-213
Платно
1 Ярославский филиал Физико-технологического института Российской АН, 2 Южный федеральный университет
Ключевые слова:
  • электронно-зондовый рентгеновский анализ поверхности
  • диэлектрические материалы
  • эффект накопления заряда
  • низковакуумная сканирующая электронная микроскопия
  • интенсивность характеристической линии излучения
  • локальный анализ поверхности
Аннотация:
Обсуждаются экспериментальные данные о генерации и детектировании характеристического рентгеновского излучения элементов при проведении электронно-зондового микроанализа диэлектрических образцов в режиме низкого вакуума без нанесения проводящих покрытий. В качестве основного достоинства рассматриваемого способа проведения анализа отмечена стабильность отношения интенсивностей диагностических линий элементов в широком диапазоне токов электронного зонда и давлений газовой фазы в камере в интервале 60-130 Па, достаточном для получения неискаженных изображений поверхности диэлектриков. Устойчивость соотношения интенсивностей допускает проведение правильного количественного анализа непроводящих образцов без нанесения проводящих покрытий. Обсуждаются основные особенности низковакуумного микроанализа для интервала используемых давлений газовой фазы, которые могут создавать дополнительные трудности для исследования. К таким особенностям относятся возможность проявления в энергодисперсионном спектре рефлексов элементов газовой фазы, существенное занижение относительной интенсивности излучения от более легких элементов в составе исследуемых образцов, потеря локальности сканирования при анализе малоразмерных участков поверхности образца. Приведен пример корректного количественного элементного анализа поверхности диэлектриков без нанесенного электропроводящего покрытия для ряда алюмосиликатов.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.