FP法によるエネルギー分散蛍光X線の高精度化の基礎研究

山崎 慶太; 田中 亮平; 河合 潤

doi:10.57415/xshinpo.49.0_201

原著論文

FP法によるエネルギー分散蛍光X線の高精度化の基礎研究

山崎慶太, 田中亮平, 河合潤

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キーワード: エネルギー分散型蛍光X線分析装置, ファンダメンタルパラメータ法, ピークフィッティング

ジャーナルフリー

2018 年 49 巻 p. 201-208

DOI https://doi.org/10.57415/xshinpo.49.0_201

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抄録

エネルギー分散型蛍光X線分析装置の定量分析精度を評価するため，ファンダメンタルパラメータ法を用いた組成計算プログラムを作成した．白岩-藤野の式の積分変数をエネルギーEに変換する際にE²の項を導入し，さらにガウスフィッティングを用いて測定スペクトルから微量元素のピークを取り出すことで，定量精度が向上することが確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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