真空
Online ISSN : 1880-9413
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円環配置型スパッタイオンポンプの開発
中澤 伸彦大浦 久美沈 国華
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2004 年 47 巻 3 号 p. 255-257

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抄録

A sputter ion pump with the pumping cells assembled in an annular configuration is developed. The pump is characterized by following factors; 1) minimized residual magnetic field intensity at the center of annular configuration about 80 A/m, 2) high effective pumping speed larger than 0.03 m3/s and 3) low ultimate pressure about 4 × 10-9 Pa. The design is suited for pumping the electron beam equipment such as scanning electron microscope, etc.

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