真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
シリコン酸化膜の局所構造緩和過程の研究
財満 鎭明池田 浩也安田 幸夫
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1999 年 42 巻 1 号 p. 25-30

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