真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
弗素化したTextured SnO2薄膜の水素プラズマ耐性
川畑 敬志, 竹中 勇一, 砂盛 英昭, 田中 武
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1993 年 36 巻 3 号 p. 275-277

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