真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
超高真空イオンポンプの開発
平野 治男, 吉村 長光, 小原 健二, 安藤 一郎
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1991 年 34 巻 3 号 p. 361-363

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