真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
半導体の電子ビーム酸化
和田 隆夫, 于 志戦, 武田 道彦, 北村 登
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1988 年 31 巻 5 号 p. 436-440

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