全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
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全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術

高谷裕浩, 林照剛, 道畑正岐

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キーワード: surface inspection, areal-topography, laser light scattering, total angle-resolved scattering, glass lens mold

ジャーナルフリー

2014 年 80 巻 6 号 p. 514-518

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.80.514

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