角度センサによる大型超精密加工面形状のナノ計測

高 偉

doi:10.2493/jjspe.68.367

高偉

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ジャーナルフリー

2002 年 68 巻 3 号 p. 367-371

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.68.367

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発行日: 2002/03/05 受付日: 2001/12/20 J-STAGE公開日: 2009/04/10 受理日: - 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/04/10 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: 訂正前 : 1) 三井公之:計測・評価の軌跡,精密工学会誌65,1(1999)54.
2) 阿部耕三:シリコンウエハの加工技術,機械と工具,44,5(2000)18.
3) 大澤孝治,今泉智:フラットネス計測技術,O plus E,23,5(2001)550.
5) 高辻利之,植木伸明,日比野謙一,大澤尊光,黒澤富蔵:大口径平面度干渉計の製作,2000年度精密工学会秋季大会講論集,87.
6) 例えば,表面形状測定装置ナノメトロ1000FR(測定範囲φ1000mm),黒田精工(株).
9) 清野彗:ソフトウェアデータムを用いた形状評価,精密工学会誌,61,8(1995)1059.
21) 清野慧,深谷直樹,久米達哉:差動レーザオートコリメーションに関する研究,精密工学会誌,55,2(1989)170.
23) 高偉,清野慧:多点法におけるゼロ点誤差補正について,精密工学会秋季大会講論集(1999)455.
24) 奥山栄樹,佐藤将人,荒井義和:零点補正型レーザオートコリメーションに関する研究,精密工学会誌67,3(2001)478.

訂正後 : 1) 三井公之:計測・評価の軌跡,精密工学会誌65,1(1999)54.
2) 阿部耕三:シリコンウエハの加工技術,機械と工具,44,5(2000)18.
3) 大澤孝治,今泉智:フラットネス計測技術,O plus E,23,5(2001)550.
5) 高辻利之,植木伸明,日比野謙一,大澤尊光,黒澤富蔵:大口径平面度干渉計の製作,2000年度精密工学会秋季大会講論集,87.
6) 例えば,表面形状測定装置ナノメトロ1000FR(測定範囲Φ1000mm),黒田精工(株).
9) 清野彗:ソフトウェアデータムを用いた形状評価,精密工学会誌,61,8(1995)1059.
21) 清野慧,深谷直樹,久米達哉:差動レーザオートコリメーションに関する研究,精密工学会誌,55,2(1989)170.
23) 高偉,清野慧:多点法におけるゼロ点誤差補正について,精密工学会秋季大会講論集(1999)455.
24) 奥山栄樹,佐藤将人,荒井義和:零点補正型レーザオートコリメーションに関する研究,精密工学会誌67,3(2001)478.

責任著者(Corresponding author)

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