オルガノ株式会社開発センター
2010 年 59 巻 4 号 p. 265-272
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超純水の定義，性質，利用分野，製造方法を概観した後，ppq（pg/L）レベルに迫る超純水の超高純度化を可能にしたイオン吸着膜を紹介する．また，超純水製造システムにおける水の再利用，薬品使用量低減技術について述べ，更に，超純水の新しい可能性として，洗浄能力を高めた水，機能水についても紹介する．
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