窒化ケイ素及び炭化ケイ素中の不純物定量におけるマイクロ波加熱酸分解処理法
1996 年 45 巻 4 号 p. 357-361
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1996 年 45 巻 4 号 p. 357-361
窒化ケイ素並びに炭化ケイ素粉末試料の微量不純物を迅速に定量分析する方法として,マイクロ波加熱による分解法を検討した.PTFE製内筒と強化プラスチック製外筒からなる密閉容器に試料と酸を入れ,最高600Wのマイクロ波を照射して分解を試みた.その結果,窒化ケイ素はフッ化水素酸と硝酸の混酸で,β形炭化ケイ素はフッ化水素酸と硝酸と硫酸の混酸により,0.5～2時間で分解することができた.しかしα形炭化ケイ素については,数時間以内での分解は困難であった.得られた分解溶液をICP-AESやAASで測定することにより,従来の加圧酸分解法と同様に,精度よく微量不純物の定量が行えた.
