スパークイオン源質量分析法において,対極に金,白金,銀,タンタル,タングステン,アルミニウム細線を用いるプローブ法での相対感度係数(RSC)(Fe=1)について検討した.用いた試料は鉄鋼,銅,アルミニウム標準試料である.各プローブ法で得られたRSCの値を比較すると,プローブ間では大きな差がないこと,又プローブ法のRSCの値は通常の2本の電極でスパークさせる固体法で得られた値と良い一致を示すことが分かった.本法の精度は固体法の精度より5～13%良くなったが,固体法同様マトリックスの影響があること,鉄鋼中のケイ素,チタンは偏析のため精度が悪くなることがあった.しかし本法は微小部の分析,精度向上に役立つことが示された.