クリーンルーム空気中のフタル酸エステルと低分子量シロキサンを市販の活性炭を用いたガス捕集管でサンプリング後、GC-MSで同時に分析する方法を開発した。フタル酸エステルはフタル酸ジブチル(DBP)とフタル酸ジ-2-エチルヘキシル(DEHP)の2種類、低分子量シロキサンは2量体、環状3量体〜環状6量体の5種類を分析の対象とした。定量下限は空気1m^3を吸引した場合でDBP、DEHPは0.2μg/m^3、低分子量シロキサンは0.03μg/m^3であった。新築のクリーンルーム6棟の空気を分析したところ、いずれのクリーンルームでもDBPとDEHPはそれぞれ0.2μg/m^3以下であり、低分子量シロキサンは0.03μg/m^3以下〜1μg/m^3の範囲であった。
