訂正日: 2008/07/15訂正理由: -訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: 訂正前 : (1) 日本材料科学会編:「表面処理と材料」(裳華房,1996) 2章. (5) 例えば,材料技術研究会編集:「実用表面改質技術総覧」(産業技術サービスセンター発行,1993) p. 147, p. 227. (6) 表面技術協会編:「PVD•CVD皮膜の基礎と応用」(槇書店,1994) p. 195, p. 307. (7) 杉本克久:"耐食性ドライコーティング膜の欠陥評価の現状";,材料と環境, 44, 308 (1995). (8) 三木真一,八束充保,橋本好幸,山崎徹,内田仁:"プラズマソースイオン注入法によるTiN相の作製とその特性評価";,電気学会論文誌A, 117, 891 (1997). (14) J. W. Mayer, L. Eriksson and J. A. Davies: 「Implantationin Semiconductors」 (Academic Press, New York and London, 1970) Chap. 2.
訂正後 : (1) 日本材料科学会編:「表面処理と材料」(裳華房,1996) 2章. (5) 例えば,材料技術研究会編集:「実用表面改質技術総覧」(産業技術サービスセンター発行,1993) p. 147, p. 227. (6) 表面技術協会編:「PVD•CVD皮膜の基礎と応用」(槇書店,1994) p. 195, p. 307. (7) 杉本克久:"耐食性ドライコーティング膜の欠陥評価の現状";,材料と環境, 44, 308 (1995). (8) 三木真一,八束充保,橋本好幸,山崎徹,内田仁:"プラズマソースイオン注入法によるTiN相の作製とその特性評価";,電気学会論文誌A, 117, 891 (1997).
