電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
シリコン酸化膜中の点欠陥の新しい検出法
大木 義路, 石井 啓介, 薛 光洙, 西川 宏之
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キーワード: シリカ, シリコン酸化膜, 点欠陥, 発光スペクトル, エキシマレーザ, シンクロトロン放射光
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1996 年 116 巻 5 号 p. 387-391

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