電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
高E/n領域の放電における窒素準安定励起粒子の生成と粒子束に関するシミュレーション
河田 進二, 湯本 雅恵, 堺 孝夫
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キーワード: 高E/n放電, モンテカルロシミュレーション, 窒素準安定励起粒子, 表面処理
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1996 年 116 巻 10 号 p. 895-896

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