真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 5P-022
会議情報
主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
11月5日（金）
Cu担持TiO2薄膜の光機能特性
詳細
主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
TiO2薄膜の光機能特性の改善を目的として、反応性スパッタリング法における薄膜作製時のO2流量を変化させ、異なる結晶構造をもつTiO2薄膜を作製し、光機能特性と結晶性の関係を明らかにする。また、TiO2薄膜に生成する電子と正孔の電荷分離を促進させるため、銅(Cu)をTiO2薄膜の表面に担持することによって光機能特性の改善の可能性について検証した。
