硝酸酸化法を用いる表面パッシベーション効果によるシリコン太陽電池の高効率化

金 昌鎬; 金 佑柄; 高橋 昌男; 小林 光

doi:10.14886/sssj2008.30.0.199.0

真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会

セッションID: 4P-112

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.30.0.199.0

会議情報

主催: 日本真空協会、社団法人日本表面科学会

11月4日（木）

硝酸酸化法を用いる表面パッシベーション効果によるシリコン太陽電池の高効率化

*金昌鎬, 金佑柄, 高橋昌男, 小林光

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抄録

　シリコン太陽電池の高効率化に、シリコンの有する表面準位の消滅による表面パッシベーション技術が必要である。一般的な熱酸化は900˚C以上の高温を要するため、シリコン太陽電池には利用されていない。本研究では硝酸酸化法を用いて120˚Cの低温で、太陽電池の表面上に極薄酸化膜を形成した。その結果、形成した酸化膜は高いパッシベーション効果をもち、シリコン太陽電池のエネルギー変換効率を向上したので報告する。

責任著者(Corresponding author)

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