セルの大きさがμmオーダーのμ-SOFCの研究が近年多くの研究者等により行われている。500℃以下の中低温領域で酸素イオン導電体を上回る高い導電率を示すY添加BaZrO3ペロブスカイト型プロトン導電体は、μ-SOFCの電解質として適した材料であるといえる。しかし、薄膜化に際してその微細構造がどのように変化し、導電特性にどのような影響を与えるかについては不明な点も多い。本研究ではPLD法を用いてY添加BaZrO3のエピタキシャル薄膜を単結晶基板上に作製し、その微細構造、導電特性について研究を行った。
