表面科学講演大会講演要旨集
第26回表面科学講演大会
セッションID: 4D24
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11月9日(木)
電子線励起超軟X線分光装置を用いた各種材料のX線スペクトル形状の観察
*荻原 俊弥木村 隆福島 整田沼 繁夫田沢 豊彦塚本 一徳
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抄録

電子線励起超軟X線分光装置を用いてLi, Al, Si, Mgなどの軽元素金属およびそれらの酸化物の超軟X線スペクトル形状の観察を行った。その結果、金属材料についてはK線およびL線スペクトルを高感度で測定が可能であり、かつ電子密度に依存したスペクトル形状が得られることがわかった。一方、酸化物については、酸素の高次線ピークは検出されるが金属ピークは検出されなかった。これについては、試料のチャージアップによるものか、X線の発生効率に起因したものか、検討中である。

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© 2006 社団法人 日本表面科学会
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