主催: 日本表面科学会
物材機構分析支援ス
日本電子
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電子線励起超軟X線分光装置を用いてLi, Al, Si, Mgなどの軽元素金属およびそれらの酸化物の超軟X線スペクトル形状の観察を行った。その結果、金属材料についてはK線およびL線スペクトルを高感度で測定が可能であり、かつ電子密度に依存したスペクトル形状が得られることがわかった。一方、酸化物については、酸素の高次線ピークは検出されるが金属ピークは検出されなかった。これについては、試料のチャージアップによるものか、X線の発生効率に起因したものか、検討中である。
日本表面真空学会学術講演会要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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