日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2020年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1P70
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11月19日
NbをドープしたWSe2原子層のSTM/STS観察
*佐藤 智拓藤井 直樹村井 雄也吉田 昭二茂木 裕幸北浦 良宮田 耕充武内 修重川 秀実
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抄録

MoS2やWSe2などの遷移金属ダイカルコゲナイド原子層(以下TMDC)は単層で優れた半導体特性を示すことから,TMDCをベースとした超微細デバイスの実現が期待されている。

本研究では,作成方法の異なるNbドーピングWSe2試料について, STM・STSを用いてNbドーパントの観察及び電子状態の測定を行った。STSの結果から電子状態の変化を確認し,Nbが負に帯電していることを解明した。

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© 2020 日本表面真空学会学術講演会
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