U-Pb年代分析法には太陽系や地球の進化を解明する上で非常に有用な手法のひとつで地球惑星科学の発展に多大な貢献をしてきた。年代分析に用いられるSIMSは1次イオンビームを試料に照射し生成される2次イオンを質量分離するものであるがイオン化効率が低いことが最大の問題点であった。そこでスパッタされた粒子のうち、中性粒子に対して高強度フェムト秒レーザーを照射することでポストイオン化を行い2次イオンの収量を増加させる「レーザーイオン化SNMS」を開発中である。本発表ではサブミクロンスケールの高精度U-Pb年代分析を行う事を目標とし、ビーム径を0.1μmまで絞れるGaイオン源、高強度フェムト秒レーザー、多重周回型Time of Flight (MULTUM Ⅱ)を備えたレーザーイオン化SNMSの開発状況について進捗を報告する。