Yb2O3とMgOを焼結助剤とした高熱伝導窒化ケイ素のマイクロ波領域での誘電特性

宮崎 広行; 平尾 喜代司; 吉澤 友一

doi:10.14853/pcersj.2009S.0.57.0

2009年年会講演予稿集

セッションID: 1E35

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2009S.0.57.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

Yb₂O₃とMgOを焼結助剤とした高熱伝導窒化ケイ素のマイクロ波領域での誘電特性

*宮崎広行, 平尾喜代司, 吉澤友一

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キーワード: 窒化ケイ素, 熱伝導率, 誘電率, 誘電損失, マイクロ波

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抄録

誘電損失の低い高熱伝導窒化ケイ素を作製するために、Yb₂O₃とMgOの含有量が異なる窒化ケイ素を焼結し、マイクロ波領域での誘電特性を測定した。２GHzでの誘電率はいずれの試料も約7であったが、誘電損失は組成に応じて10^－4 から 10^－3へと変化した。これらの試料を1300℃で24時間、熱処理したところ、誘電損失は2 x 10^-4以下へと減少した。この変化は、粒界相の結晶化に伴って生じたことが分かった。

責任著者(Corresponding author)

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