近年、信頼性のおける水素ガス検知センサが求められている。本研究ではWCl6とH2PtCl6・6H2Oを出発原料として、テンプレートにBrij52を用いたゾル-ゲル法によってマトリクスであるWO3薄膜表面の構造制御を行ったPt微粒子分散WO3薄膜を作製した。薄膜はXRDとFE-SEMで構造解析し、水素ガスに対する応答特性を測定した。また、薄膜作製と同条件で焼成した粉末の比表面積をBET法にて測定した。その結果、Brij52で構造制御を行った薄膜は添加していない通常薄膜より多孔質であることが分かり、水素ガスに対する80%応答時間が1秒以下であることが明らかになった。
