薄膜作製にはスパッタリングや蒸着法、塗布法など多くの方法が実用化されている。しかし、それらの多くは減圧下や高温下での反応が利用されているため、さらに簡便な手法が求められている。ここでは沿面放電に着目し、沿面放電用電極の作製及びこれを利用した薄膜の低温形成を試みた。 放電エネルギーは、有機金属や無機塩などの熱分解や溶媒の気化熱に比べ十分に大きいことがわかった。これにより、原料は基板の熱ではなく、放電エネルギーによって反応が進行することがわかった。また、放電により原料溶液が電極パターンに沿って局所的に集中するため、作製した膜は放電パターンに従って形成され、将来的にこの手法により薄膜のダイレクトパターニングの可能性が示唆された。
