(Fe₇₀Co₃₀)_1-xAl_x複合ターゲットを窒素ガス中で反応性スパッタリングすることによって、膜中の金属組成がターゲット組成とほぼ同一の、閃亜鉛鉱型―ウルツ鉱型の結晶構造の窒化物薄膜が得られた。強磁性粒子のFe₇₀Co₃₀は窒化物薄膜を真空封管中で、500℃で20時間アニールして、遷移金属窒化物を分解させることによって析出させた。アニールした膜ではAl量の増加に伴って、格子定数が減少することから、AlがFe₇₀Co₃₀に固溶したと考えられる。また、粒子径はAl量が増加するにつれて減少し、零磁場状態での電気抵抗はAl量とともに増加した。磁気抵抗比はAl量の増加に伴って高くなり、x=0.66の組成において最大0.06%を示した。