我々は、オゾンの安全性を考慮して，低濃度オゾンを利用する方法を考え，種々の形状のアルゴン・水銀の超小型冷陰極真空紫外線放電管(紫外線ランプ)とインバータを試作し，器械の研究開発を行ってきている。しかし，欧州規格では2006年7月から水銀が使用禁止になるため、アルゴン・水銀が使用できなくなる．　従って,水銀を使用しないオゾン発生紫外線ランプが早急に必要である。そこで，本研究は水銀を使用しないエキシマランプを開発する目的で，種々のエキシマガスのランプを試作して検討を行ったので報告する。