Magnetic Force Microscopy A Powerful Tool for Studying Micromagnetics and Its Application to High-density Recording

Toshifumi OHKUBO

doi:10.1380/jsssj.17.8

磁気力顕微鏡

ミクロな磁気情報の解明と高密度記録への応用

大久保俊文

著者情報

ジャーナルフリー

1996 年 17 巻 1 号 p. 8-14

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.17.8

詳細

発行日: 1996/01/10 受付日: 1995/08/08 J-STAGE公開日: 2009/08/07 受理日: 1995/08/08 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/08/07 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: Wrong : 1) T. R. Albrecht, S. Akamine, T. E. Carver and C. F. Quate J. Vac. Sci. Technol. A 8 (4), 3386 (1990).
2) O. Wolter, Th. Bayer and J. Greschner : J. Vac. Sci. Technol. B 9 (2), 1353 (1991).
3) P. Grütter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo, S. E. Lambert, C.-J. Lin, O. Wolter, T. Bayer and J. Greschner : Appl. Phys. Lett. 57 (12), 1820 (1990).
4) P. Grutter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo, C.-J. Lin, I. R. McFadyen, O. Wolter, T. Bayer and J. Greschner : J. Appl. Phys. 69 (8), 5883 (1991).
5) M. Rührig, S. Porthun and J. C. Lodder : Rev. Sci. Instrum. 65 (10), 3224 (1994).
7) M. Lederman, S. Shultz and M. Ozaki : Phys. Rev. Lett. 73 (14), 1986 (1994).
10) C. Schönenberger and S. F. Alvarado : Z. Phys. B 80, 373 (1990).
11) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, B. D. Terris and S. E. Lambert : Appl. Phys. Lett. 53 (16), 1563 (1988).
12) P. W. Hawkes : “Advances in Electronics and Electron Physics” 87, Academic Press Inc. 181 (1994).
13) P. B. Fischer, M. S. Wei and S. Y. Chou : J. Vac. Sci. Technol. B 11 (6), 2570 (1993).
14) C. Schönenberget and S. F. Alvarado : J. Appl. Phys. 67 (12), 7278 (1990).
16) S. Manaris, K. Babcock, J. Massie, V. Elings and M. Dugas : Appl. Phys. Lett. 66 (19), 2585 (1995).
17) T. R. Albrecht, P. Grütter, D. Home and D. Rugar : J. Appl. Phys. 69 (2), 668 (1991).
18) A. Kikukawa, S. Hosaka, Y. Honda and S. Tanaka : Appl. Phys. Lett. 61 (21), 2607 (1992).
19) U. S. Patent No. 5, 266, 801 and No. 5, 308, 974.
20) S. Hosaka, A. Kikukawa, Y. Honda, H. Koyanagi and S. Tanaka : Jpn. J. Appl. Phys. 31, Pt. 2, (7A), L904 (1992).
21) K. Wago, K. Sueoka and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 27 (6), 5178 (1991).
22) K. Sueoka, K. Wago and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 28 (5), 2307 (1992).
23) G. A. Gibson and S. Schultz : IEEE Trans. Magn. 28 (5), 2310 (1992).
25) O. Watanuki, Y. Sonobe, S. Tsuji and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 27 (6), 5289 (1991).
26) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : IEEE Trans. Magn. 27 (6) (1991).

Right : 1) T. R. Albrecht, S. Akamine, T. E. Carver and C. F. Quate J. Vac. Sci. Technol. A 8 (4), 3386 (1990).
2) O. Wolter, Th. Bayer and J. Greschner : J. Vac. Sci. Technol. B 9 (2), 1353 (1991).
3) P. Grütter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo, S. E. Lambert, C.-J. Lin, O. Wolter, T. Bayer and J. Greschner : Appl. Phys. Lett. 57 (12), 1820 (1990).
4) P. Grutter, D. Rugar, H. J. Mamin, G. Castillo, C.-J. Lin, I. R. McFadyen, O. Wolter, T. Bayer and J. Greschner : J. Appl. Phys. 69 (8), 5883 (1991).
5) M. Rührig, S. Porthun and J. C. Lodder : Rev. Sci. Instrum. 65 (10), 3224 (1994).
7) M. Lederman, S. Shultz and M. Ozaki : Phys. Rev. Lett. 73 (14), 1986 (1994).
10) C. Schönenberger and S. F. Alvarado : Z. Phys. B 80, 373 (1990).
11) H. J. Mamin, D. Rugar, J. E. Stern, B. D. Terris and S. E. Lambert : Appl. Phys. Lett. 53 (16), 1563 (1988).
12) P. W. Hawkes : “Advances in Electronics and Electron Physics” 87, Academic Press Inc. 181 (1994).
13) P. B. Fischer, M. S. Wei and S. Y. Chou : J. Vac. Sci. Technol. B 11 (6), 2570 (1993).
14) C. Schönenberget and S. F. Alvarado : J. Appl. Phys. 67 (12), 7278 (1990).
16) S. Manaris, K. Babcock, J. Massie, V. Elings and M. Dugas : Appl. Phys. Lett. 66 (19), 2585 (1995).
17) T. R. Albrecht, P. Grütter, D. Home and D. Rugar : J. Appl. Phys. 69 (2), 668 (1991).
18) A. Kikukawa, S. Hosaka, Y. Honda and S. Tanaka : Appl. Phys. Lett. 61 (21), 2607 (1992).
19) U. S. Patent No. 5, 266, 801 and No. 5, 308, 974.
20) S. Hosaka, A. Kikukawa, Y. Honda, H. Koyanagi and S. Tanaka : Jpn. J. Appl. Phys. 31, Pt. 2, (7A), L904 (1992).
21) K. Wago, K. Sueoka and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 27 (6), 5178 (1991).
22) K. Sueoka, K. Wago and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 28 (5), 2307 (1992).
23) G. A. Gibson and S. Schultz : IEEE Trans. Magn. 28 (5), 2310 (1992).
25) O. Watanuki, Y. Sonobe, S. Tsuji and F. Sai : IEEE Trans. Magn. 27 (6), 5289 (1991).
26) T. Ohkubo, J. Kishigami, K. Yanagisawa and R. Kaneko : IEEE Trans. Magn. 27 (6) (1991).

抄録

走査型プローブ顕微鏡のファミリの一つで,磁性サンプルの漏洩磁界を大気中において,非接触・非破壊で測定可能な磁気力顕微鏡について,その原理を概説した。また検出感度,空間分解能,応答速度などの基本性能の向上に寄与したいくつかの技術をピックアップし,これらにも焦点をあてて述べた。加えて,力顕微鏡の測定例を磁気記録の場合を例に示すとともに,磁界測定のみならず高密度記録を目的として積極的にサンプルの磁化操作を行った例もあわせて述べた。

責任著者(Corresponding author)

訂正情報