年次大会講演論文集
Online ISSN : 2433-1325
セッションID: 1332
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1332 バイモルフ磁歪アクチュエータ素子を用いた磁場駆動マイクロガスバルブ(J14-7 知的材料・構造システム(7) 各種アクチュエータ,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
岡崎 禎子田中 正宗古屋 泰文斉藤 千尋今泉 伸夫
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会議録・要旨集 認証あり

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抄録

In order to develop magnetostrictive actuator induced by low magnetic field, we investigated magnetostrictive (positive magnetostriction/negative magnetostriction) bimorph-layers, that is, rapidly solidified Fe-Pd, Fe-Ga ribbons (100 μm)/Ni(50 μm). Displacement of the upper part of bimorph-layers with length of 20 mm was 230 μm under low magnetic field (500Oe). The bimorph-layers actuator was applied in micro-gas-valve. Flow rate of Ar with 7kPa is driven by magnetic field of 350Oe.

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© 2008 一般社団法人日本機械学会
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