磁場と電場の同時印加による平面内微細V溝に対する精密研磨特性

北陸信越支部総会・講演会　講演論文集

Online ISSN : 2424-2772

セッションID: A022

DOI https://doi.org/10.1299/jsmehs.2021.58.A022

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: 日本機械学会北陸信越支部第58期総会・講演会

開催日: 2021/03/06

磁場と電場の同時印加による平面内微細V溝に対する精密研磨特性

*浦田優人, 西田均, 山本久嗣, 百生登, 上堀博之

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キーワード: Magnetic Compound Fluid, Magnetic cluster, Electrical field, Magenetic field

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