表面に付着した粒子を乾式で除去する方法として, 高速気流を繰り返し噴射するパルスエアジェット法は1μm以下の微粒子の除去に極めて有効である.本報では, まず平滑表面に付着した球形粒子 (粒径0.5～5μm) の積算除去率を, 1パルス目に除去される粒子の割合γ₁, 最終的に除去されない粒子の割合α₀, そして1パルスあたりに除去される粒子の割合に関するパラメータC'を用いて相関し, 各パラメータと粒子に働く除去力と付着力の比である除去パラメータF^*の関係について検討した.その結果, 平滑表面からの粒子除去率は, γ₁, α₀, C'の3つのパラメータにより精度よく相関でき, また各パラメータはF^*のみの関数として与えられることがわかった.さらに, 規則的な凹凸を有するSUS表面からの粒子除去についても検討した結果, ある表面粗さに対して最も除去しにくい粒径が存在すること, および粗い表面からの粒子除去率も3つのパラメータによって相関できることがわかった.しかしながら, これらのパラメータとF^*の関係については, F^*以外に表面粗さを示すパラメータを新たに導入する必要があることがわかった.