クロロ(N,N-ジエチルアミノ)シランおよびビス(N,N-ジエチルアミノ)シランのアンモノリシスによりポリシラザンHPZ1およびHPZ2を合成した．HPZ1およびHPZ2は自己縮合に対する安定性が低く，分子量約1000，[H2Si(NH)]nを主骨格とするポリシラザンであった．HPZ1およびHPZ2は，希薄溶液あるいはクロロ(トリメチル)シランによりシリル化体とすることにより自己縮合が抑制され，テトラヒドロフランやエーテルなどの溶液として扱えた．一方，ポリシラザンの35 wt% (HPZ1)および45 wt% (HPZ2)THF溶液を20 °Cで放置すると，最高で重量平均分子量85000 (HPZ1)および45000 (HPZ2)のポリシラザンが生成することがわかった．
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