原子力発電所の高経年化、高燃焼度化に伴い水素脆化が危惧されており、高い分析精度に加え、迅速かつ安全な水素濃度測定法が求められている。レーザープラズマ分光分析法(LIBS)はこれらの要求に応えられる分析法である。本研究ではTEA-CO2レーザーをLIBSに用いることにより測定下限値20ppmという非常に高精度な値が得られることを確認した。しかしながら材料中の水素分布は熱影響により不安定化することが推察されるのでレーザー痕直下部の断面観察による組織安定について研究を行う。断面観察によるレーザーの熱影響と分光結果を比較し、レーザー入熱熱影響について評価する。