近年、加工の精度や効率を向上させるため、砥粒が整列固着された工具の研究が盛んに行われている。そこで、砥粒が整列固着された新しい工具を解析・評価するため、その表面形状を３次元計測できるシステムを新たに製作した。開発したシステムは、工具を取り付けるステージ（XY軸方向）とマイクロスコープを取り付けるステージ（Z軸方向）のそれぞれを１［μｍ］の精度で制御可能である。したがって、工具作業面の任意の場所や工具に固着されている任意の砥粒を簡単に探索できる。本システムの有効性を確認するため、評価用工具を用いて測定実験を行った結果、工具作業面の砥粒の分布や形状などを定量的に評価できることが分かった。
