立石電機(株)制御機器事業本部開発技術センタ
三井精機(株)東京工場研究部
富士電機製造(株)メカトロ•省エネ技術センタ
1982 年 102 巻 4 号 p. 281-284
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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