3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定 測定データ接続法の比較

時實 拓紀; 野田 樹生; 田丸 雄摩; 清水 浩貴

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_382

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_382

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定

測定データ接続法の比較

*時實拓紀, 野田樹生, 田丸雄摩, 清水浩貴

著者情報

キーワード: 形状計測, 測定誤差, 計測学

会議録・要旨集フリー

p. 382-383

詳細

抄録

9つの距離センサを縦横に3つずつ並べた正方形配置のセンサユニットを用い，これを工作機械上で走査することで取得したデータを接続して平面加工物の形状再現を行う手法について検討した．既に算出済みの形状値にステージの運動誤差を考慮して測定データを接続する際の重ね合わせ領域のデータ処理方法，及び測定データの接続経路を変更することによる形状再現精度を数値シミュレーションを用いて比較した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

会議情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）