光圧による周期構造基板上でのマイクロ構造物マニピュレーション（第一報） 基板構造を考慮可能な電磁場解析アルゴリズムの提案

吉川 瑞紀; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_351

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_351

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

光圧による周期構造基板上でのマイクロ構造物マニピュレーション（第一報）

基板構造を考慮可能な電磁場解析アルゴリズムの提案

*吉川瑞紀, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

著者情報

キーワード: 光ピンセット, マイクロ構造, Mie散乱, T-matrix法, 光放射圧

会議録・要旨集フリー

p. 351

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抄録

本研究では、構造基板による回折光を用いて光ピンセットを行う手法を提案する。本手法では、回折光により集光範囲に留まらない広範囲での捕捉現象が確認されており、複雑なマイクロ構造物の捕捉に有用であると考えられている。本報では、本手法の捕捉原理を理解するために、T-matrix法によるマイクロ球体捕捉に加え、回折光の導出にT-matrix法を応用して解析的に求める手法を提案する。

責任著者(Corresponding author)

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