ナノ多結晶ダイヤモンド工具によるマイクロシリンドリカルレンズアレイガラス成形用超硬金型の超精密切削加工

張 栄; 森田 晋也; 山形 豊; 津野 克彦; 丸山 真幸; 小川 貴代; 福島 忠徳; 和田 智之

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_242

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_242

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

ナノ多結晶ダイヤモンド工具によるマイクロシリンドリカルレンズアレイガラス成形用超硬金型の超精密切削加工

*張栄, 森田晋也, 山形豊, 津野克彦, 丸山真幸, 小川貴代, 福島忠徳, 和田智之

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キーワード: ナノ多結晶ダイヤモンド, 超硬合金の切削加工

会議録・要旨集フリー

p. 242-243

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抄録

本研究ではガラス製マイクロレンズアレイ成形のための超硬合金金型を，ナノ多結晶ダイヤモンド(NPD)工具を用いて製作する手法を提案する．ガラス成形用微粒超硬合金を超硬合金工具を用いた切削により粗加工した後に，NPDによる超精密切削を行い，研磨による最終仕上げを行った．切削工程における工具摩耗と各加工段階における形状誤差ならびに表面性状，ならびに，研磨前後の表面性状と形状誤差を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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