砥石特性がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響 砥石表面の硫酸バリウム砥粒，結合剤の観察に基づく工作物除去の評価

池田 真遥; 古城 直道; 山口 智実; 廣岡 大祐; 角田 勝俊; 棚田 憲一

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_162

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_162

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

砥石特性がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響

砥石表面の硫酸バリウム砥粒，結合剤の観察に基づく工作物除去の評価

*池田真遥, 古城直道, 山口智実, 廣岡大祐, 角田勝俊, 棚田憲一

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キーワード: 超仕上げ, シリコン, 硫酸バリウム, メカノケミカル超砥粒砥石, 反射電子像, ラマン分光分析

会議録・要旨集フリー

p. 162-163

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抄録

本報では，複数の硫酸バリウム砥粒量，硬さを持つメカノケミカル砥石を用いて単結晶シリコンの超仕上げ性能を調査した．実験結果から，軟質で化学的作用を持つ硫酸バリウム砥粒や結合剤が多く破砕，欠損した砥石では，砥石と工作物間でのメカノケミカル作用や，機械的除去作用が得られ，効率的な工作物除去が実現された．一方で，硫酸バリウム砥粒や結合剤の破砕，欠損が少ない砥石では工作物除去が進まないことが分かった．

責任著者(Corresponding author)

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