主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会秋季大会
開催地: 福岡工業大学
開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15
大阪大 工学研究科
理化学研 SPring-8センター
p. 573
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硬X線領域で利用される光学素子である結晶モノクロメータは、ブラッグ回折を利用し分光を行う素子であるため、その回折面には結晶完全性が求められる。しかし、難加工形状を有するものは既存の高精度研磨技術の適用が困難である。我々はこれまで、大気圧プラズマを応用した結晶光学素子の無歪み仕上げ加工法を開発してきた。本発表では、電極に極細ワイヤを利用した結晶の狭小領域への加工を検討した結果について報告する。
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