高効率プラズマ源を有する小型イオンポンプの真空排気特性評価

大島 直人; 倉島 優一; 前田 敦彦; 本村 大成; 松前 貴司; 渡邉 満洋; 高木 秀樹

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_561

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_561

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

高効率プラズマ源を有する小型イオンポンプの真空排気特性評価

*大島直人, 倉島優一, 前田敦彦, 本村大成, 松前貴司, 渡邉満洋, 高木秀樹

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キーワード: 超高真空, イオンポンプ, 小型高効率プラズマ源

会議録・要旨集認証あり

p. 561

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抄録

近年，冷却原子を使った量子センサーや量子コンピュータが注目されている．冷却原子状態を実現するには10^-6Pa以下の超高真空環境が必要である．こうした量子デバイスの小型化を実現させるため，我々は冷却原子生成室を超高真空領域まで真空引き可能な小型イオンポンプの開発をおこなっている．高効率プラズマ源を有する小型イオンポンプを作製し，気密封止された空間内を真空排気し，放電電流から真空排気特性を評価したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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