Si表面の溝底部への金属原子の埋め込みと光電子検出特性の評価

東 知樹; 村瀬 詩花; 稲垣 耕司; 有馬 健太

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_336

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_336

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

Si表面の溝底部への金属原子の埋め込みと光電子検出特性の評価

*東知樹, 村瀬詩花, 稲垣耕司, 有馬健太

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キーワード: 金属アシストエッチング, 触媒, 溝構造, Si表面, X線光電子分光法

会議録・要旨集認証あり

p. 336-337

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抄録

近年，金属アシストエッチングと呼ばれる，Si表面に対する新たなエッチング手法が注目されている．本研究はエッチング前後での触媒金属の組成変化を調べることを目的としている．金属アシストエッチングによりSi表面上に溝構造を形成し，角度分解 X 線光電子分光測定を行った．その結果，溝構造の底に埋め込んだ触媒金属からの光電子を検出することに成功するとともに，光電子検出の角度依存性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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