電界スライシング技術の基礎研究

久住 孝幸; 越後谷 正見; 池田 洋; 細川 遥花; 中村 竜太; 大久保 義真; 赤上 陽一

doi:10.11522/pscjspe.2022A.0_420

2022年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022A.0_420

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

電界スライシング技術の基礎研究

*久住孝幸, 越後谷正見, 池田洋, 細川遥花, 中村竜太, 大久保義真, 赤上陽一

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キーワード: ワイヤーソー, インゴット, 切断, スラリー, 遊離砥粒, 交流電界

会議録・要旨集フリー

p. 420-421

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抄録

半導体材料のインゴットからウェーハへの切断工程は、全加工時間の大部分を占めることから迅速化への要求が高い。そこで、この切断工程に用いられるワイヤーソーの高効率化並びに高品位化を目的として、ワイヤー工具と試料間に交流高電圧を印加し、切断時の砥粒をワイヤー上に効率的な配置制御する電界スライシングを提案する。本報告では、原理検証実験によって明らかとなった電界スライシング技術の基礎特性について報告する。

責任著者(Corresponding author)

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