精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会秋季大会
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

C面サファイア基板のナノスクラッチ特性
nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性
*三枝 剣悟, 林 王票, 矢野 直彦, 清水 淳, 金子 和暉, 周 立波, 小貫 哲平, 尾嶌 裕隆, 山本 武幸　
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キーワード: 単結晶サファイア, 引っかき, 異方性, 被削性, 引っかき力
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p. 345-346

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抄録

単結晶C面サファイア基板は，単結晶GaNのエピタキシャル成長基板としての用途から，被削性をnmレベルで理解することが重要である．本研究では，nmオーダの送りによるC面サファイア基板のナノスクラッチによる被削性を調査した際のおもに異方性について報告する．

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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