2022年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
大面積ナノ構造色加工に向けた電子ビームリソグラフィ技術
p. 308-309
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 308-309
携帯端末機器、自動車等の各種分野において、ナノパターン形成による表面の高機能化および高付加価値化が重要な課題になっている。そこで、ナノ加飾、セキュリティー、等への応用展開を目的に、大面積に対して、複雑な写真のような構造色のナノ加飾を付与できるナノ加工技術の研究開発を推進している。本研究では、所望のメタマテリアル構造に対して、カラーマップ作成に必要になる基礎データ（構造色のパターン形状・寸法依存性、等）の構築や、高速加工と多色性を同時に確保できる手法について検討した。また、構造色パターン変換用プログラムを試作し、ナノ構造色絵の作製を実証した。
