弾性案内－電磁力駆動型超精密4軸位置決め機構による表面微細形状測定・加工システム

深田 茂生; 中野 恭兵; 下川 敬太郎

doi:10.11522/pscjspe.2020S.0_78

2020年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020S.0_78

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会春季大会

開催地: 東京農工大学

開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19

弾性案内－電磁力駆動型超精密4軸位置決め機構による表面微細形状測定・加工システム

*深田茂生, 中野恭兵, 下川敬太郎

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キーワード: 位置決め, 弾性案内, ボイスコイルモータ, ミリストローク, 表面微細形状測定, スクラッチ加工

会議録・要旨集フリー

p. 78-79

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抄録

本研究は，一体化ヒンジ機構を用いたX-Y-Yawの3自由度平面位置決め機構と，平行板ばね構造によるZ軸機構から成る，ストロークが1×1×1 mmの超精密4軸位置決め機構によって，低侵襲の触針式表面形状測定と，十分な針圧下でのスクラッチ加工が可能な表面微細形状測定・加工システムの実現を目的としている．本報では，スクラッチ加工の基礎実験について述べ，加工中の位置決め性能について検討している．

責任著者(Corresponding author)

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