タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第1報） 波面制御および定在波を援用した機能性構造の作製

篠崎 充; 水谷 康弘; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_511

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: G43

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_511

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第1報）

波面制御および定在波を援用した機能性構造の作製

*篠崎充, 水谷康弘, 高谷裕浩

著者情報

キーワード: 3次元リソグラフィ, タルボット効果, 3次元ナノ構造, モルフォ蝶構造

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抄録

ナノメートルオーダで作製された３次元構造は様々な機能性光学デバイスとして利用されており，高効率な作製手法が求められている．そこで，本研究ではタルボット効果という周期的な干渉現象を用いた３次元リソグラフィにより，広範囲の３次元ナノ構造を高効率に作製する手法を提案している．本報告では，タルボット効果に波面制御および定在場を援用することにより，様々な機能性光学デバイスが作製できることを示す．

責任著者(Corresponding author)

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