表面層評価のための島状の銀薄膜による固体表面における表面増強ラマン散乱

古谷 龍嗣; 梅本 好日古; 山口 誠; 山本 良之

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_493

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: G08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_493

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

表面層評価のための島状の銀薄膜による固体表面における表面増強ラマン散乱

*古谷龍嗣, 梅本好日古, 山口誠, 山本良之

著者情報

キーワード: 表面増強ラマン散乱, 銀ナノ粒子, 薄膜

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抄録

本研究では，固体試料の極表面層を非破壊にて評価できる表面増強ラマン散乱(SERS)について着目した．これまで，シリコン基板上にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)を製膜した試料に異なる膜厚の銀薄膜を蒸着することにより，SERS効果に変化が生じることが確認された．本発表では，異なる銀薄膜を蒸着後の試料のSERS効果において，蒸着速度や基板温度，蒸着面の不均一性などについて検討する．

責任著者(Corresponding author)

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