光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第一報）基本原理の検証

藤田 寛之; 水谷 康弘; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_279

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_279

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第一報）基本原理の検証

*藤田寛之, 水谷康弘, 高谷裕浩

著者情報

キーワード: 光スピンホール効果, エリプソメトリ, 偏光

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抄録

半導体デバイス等における薄膜計測では，非破壊・非接触で計測可能なエリプソメトリが広く利用されている．試料の特性を決定するために，偏光状態の変化を光強度から取得する従来の手法に対して，本研究では，光スピンホール効果を利用した新たな計測手法を提案する．光スピンホール効果によって分離した光線シフト量は，偏光状態の変化に依存するため，シフト量を計測することで偏光計測を可能にする．

責任著者(Corresponding author)

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